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生产型磁控机
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规格&简介
G4.5 IN-LINE 磁控机 | |
基板尺寸 | 500x1500mm glass |
应用领域 | 金属、ITO或者其它无机膜材沉积 |
基底温度 | 120℃-450℃ |
温度均匀性 | ±3℃@150℃ |
膜厚均匀性 | ≦±5% for ITO deposition |
≦±3% for Cu deposition | |
膜厚重复性 | ≦±2% |
极限真空度 | ≦5x10-7 torr within 16hrs |
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