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G2 蒸镀机（研发中）
P-400 G2 IN-LINE 蒸镀机基板尺寸300x400mm glass应用领域PMOLED、薄膜太阳能电池、OTFT对位精度≦250um by Pin alignment速率范围0.01A/s~10A/s速率稳定性≦±2%&nb···
P-400 G2 IN-LINE 蒸镀机 | |
基板尺寸 | 300x400mm glass |
应用领域 | PMOLED、薄膜太阳能电池、OTFT |
对位精度 | ≦250um by Pin alignment |
速率范围 | 0.01A/s~10A/s |
速率稳定性 | ≦±2% @LiQ & ≦±3%@Ag |
膜厚均匀性 | ≦±2% for organic deposition |
≦±3% for metal deposition | |
膜厚重复性 | ≦±1% for organic ≦±3% for metal |
极限真空度 | ≦3x10-7 torr within 16hrs |
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