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P-400  G2  IN-LINE 蒸镀机基板尺寸300x400mm glass应用领域PMOLED、薄膜太阳能电池、OTFT对位精度≦2···

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基底尺寸2”or 4”wafer应用领域金刚石外延片生长微波源德国进口微波源气体纯度7N生长温度800℃~1100℃等离子体温度5000℃~6000℃腔体不锈钢双层腔体+水冷

基底尺寸2”、4”、6”wafer应用领域Al2O3， HfO2， ZrO2、 MoOx、 VOx、 TiO2， SiO2， Al···

Sputter&PLD超高真空互联极限真空度5x10-9torr四支2“圆形靶枪，2“wafer基底准分子激光器+六靶台