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超高真空互联
Sputter&PLD超高真空互联极限真空度5x10-9torr四支2“圆形靶枪，2“wafer基底准分子激光器+六靶台
Sputter&PLD超高真空互联
极限真空度5x10-9torr
四支2“圆形靶枪，2“wafer基底
准分子激光器+六靶台
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