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     超高真空互联

    Sputter&PLD超高真空互联极限真空度5x10-9torr四支2“圆形靶枪，2“wafer基底准分子激光器+六靶台

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高端蒸镀机磁控溅射机MPCVD原子层沉积（ALD）非标超高真空系统

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