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MPCVD系统
基底尺寸2”or 4”wafer应用领域金刚石外延片生长微波源德国进口微波源气体纯度7N生长温度800℃~1100℃等离子体温度5000℃~6000℃腔体不锈钢双层腔体+水冷
基底尺寸 | 2”or 4”wafer |
应用领域 | 金刚石外延片生长 |
微波源 | 德国进口微波源 |
气体纯度 | 7N |
生长温度 | 800℃~1100℃ |
等离子体温度 | 5000℃~6000℃ |
腔体 | 不锈钢双层腔体+水冷 |
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