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MT(材料验证机）
基板尺寸100x100玻璃基底（tray盘）应用领域OLED器件研发&材料验证点源配置有机源16支，金属源3支腔内布局OC、MC分二腔，或者合并分四区是否有LL有，配进口Robot
基板尺寸 | 100x100玻璃基底（tray盘） |
应用领域 | OLED器件研发&材料验证 |
点源配置 | 有机源16支，金属源3支 |
腔内布局 | OC、MC分二腔，或者合并分四区 |
是否有LL | 有，配进口Robot |
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