客户案例
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同济大学
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NC Thermo-4 原子层沉积
客户：上海高研院基板尺寸：4“ wafer应用：多种半导体材料ALD
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G1 OLED蒸镀机
客户：中科院长春应用化学研究所基板尺寸：200 x 200 mm应用：晶体OLED器件开发&OTFT制作
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Top-device研发机
客户：北京云基科技有限公司基板尺寸：50 x 50 mm应用：OLED器件开发&材料验证
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G6 half Point Source测试平台
客户：京东方xx 点源供应商基板尺寸：1500 x 925mm应用：六代OLED蒸镀机点源研发&测试
